マスフローコントローラ
分類
デジタルモデル
ピエゾバルブモデル
ソレノイドバルブモデル
サーマルバルブモデル
高温対応モデル
ローコストモデル
液体微少マスフローコントローラ
アクセサリ
デジタルモデル
TOP
一次側、二次側の圧力変動の影響を受けにくいマスフローコントローラ
■サーマルセンサー方式 SEC-Z700
■差圧検出方式 CRITERION D200
RoHS指令対応オールインワンのハイエンドモデル
SEC-Z500X
セットポイント精度を実現した高精度モデル
SEC-V100D
デバイスネット通信対応モデル
SEC-Z10D/Z10DW
ピエゾバルブモデル
TOP
コンパクトMFCのデファクトスタンダードを築いたモデル
SEC-7300
アナログMFCの最高峰モデル
SEC-4401/4501
ウルトラクリーン化を推進したベストセラーモデル
SEC-4400
ソレノイドバルブモデル
TOP
微少流量から大流量制御に対応したローコストモデル
SEC-E40
メタルO-リング対応の大流量モデル
SEC-6470/6480
サーマルバルブモデル
TOP
マスフローコントローラのベーシックモデル
SEC-400
高温対応モデル
TOP
高温対応のベストセラーモデル
SEC-8000
高温対応のベストセラーモデル
SEC-2000
ローコストモデル
TOP
SEC-E40MK3/E50MK3
SEC-400MK3/500MK3
液体微少マスフローコントローラ
TOP
世界初の冷却測定方式を採用したセンサを搭載
LV-F
アクセサリ
TOP
多機能制御ユニット
PAC-S6
制御ユニット
PAC-D1・D2
積算機能付き制御ユニット
FI-1100
専用電源
PAC
表示器
DU series
設定器
SU-503ED・502EA
多機能デジタルコントローラ
DS-3
信号ケーブル・変換アダプター
SC/CA
マスフローチェッカー
MFT-20
ニュース
仙台営業所が移転致しました
2008年05月19日
総合カタログ
マスフローコントローラ (PDF1.6MB)
プレッシャーコントローラ (PDF3.5MB)
液体材料気化システム (PDF1.9MB)
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