キャパシタンスマノメータ

＜キャパシタンスマノメータ＞
キャパシタンスマノメータ:VGシリーズは、インコネルの採用により高精度と高信頼性を実現した、静電容量型絶対圧真空計です。VG-111は、周囲温度の変化により熱膨張、収縮等による計測への影響を最小とするため温度補償回路を搭載しています。またVG-121はさらに圧力計測部を積極的に加熱・温調することで副生成物の堆積や反応性ガスの凝縮を防止し、半導体・液晶製造分野の成膜装置において長期間の信頼性を実現しています。