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オートプレッシャレギュレータ
UR-7300 series
概要
各種プロセスのライン圧力制御に最適
圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能
高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵
ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適
仕様
| UR-7340 |
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接ガス部材質 |
Mタイプ：SUS-316L
Rタイプ：SUS-316L，バイトン |
圧力制御レンジ |
20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A) |
調圧流量 |
1L/min(CV値;0.0032)
5L/min(CV値;0.016) |
調圧精度 |
±1% F.S.(フルスケール) |
その他 |
一次圧調圧モデルも製作可能です。
バルブ動作：非通電時、開/閉の選択可能 |
| UR-7350 |
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接ガス部材質 |
Mタイプ：SUS-316L
Rタイプ：SUS-316L，バイトン |
圧力制御レンジ |
20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A) |
調圧流量 |
10L/min(CV値;0.032) |
調圧精度 |
±1% F.S.(フルスケール) |
その他 |
一次圧調圧モデルも製作可能です。
バルブ動作：非通電時、開/閉の選択可能 |
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