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	SEF-7300 series
	外形寸法

マスフローメータ

SEF-7300 series

概要

新型センサーの採用により高性能及びゼロ点の長期安定を実現

高速応答：T98：1秒以内
コンパクトサイズ面間距離 106mm

仕様

SEF-7330

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
流量測定範囲	0〜100% F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0% F.S.(フルスケール)

SEF-7350

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	20/30 SLM
流量測定範囲	0〜100% F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0% F.S.(フルスケール)

SEF-7355

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	50/100 SLM
流量測定範囲	0〜100% F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0% F.S.(フルスケール)

SEF-7140

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
流量測定範囲	0〜100% F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0% F.S.(フルスケール)

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