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マスフローメータ
SEF-4400 series
概要
- ウルトラクリーン対応：ステンレスダイヤフラムメタルOリング(Mタイプ)採用
- 広範囲にわたる制御範囲：微少流量(0.1SCCM)から大流量(100SLM,N2)まで制御可能
仕様
| SEF-4400 |
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接ガス部材質 |
Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン |
標準流量レンジ |
5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM
1/2/5 SLM |
流量測定範囲 |
0〜100% F.S.(フルスケール) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(フルスケール) |
応答速度 |
1秒以内(T98) |
| SEF-4500 |
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接ガス部材質 |
Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン |
標準流量レンジ |
10SLM.20SLM |
流量測定範囲 |
0〜100% F.S.(フルスケール) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(フルスケール) |
応答速度 |
1秒以内(T98) |
| SEF-4550 |
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接ガス部材質 |
Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン |
標準流量レンジ |
30SLM.50SLM |
流量測定範囲 |
0〜100% F.S.(フルスケール) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(フルスケール) |
応答速度 |
1秒以内(T98) |
| SEF-4600 |
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接ガス部材質 |
Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン |
標準流量レンジ |
50SLM.100SLM |
流量測定範囲 |
0〜100% F.S.(フルスケール) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(フルスケール) |
応答速度 |
1秒以内(T98) |
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