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	SEF-4401・4501 series
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マスフローメータ

SEF-4401・4501 series

概要

高精度、高速応答化による多チャンバー化の枚葉システムに最適なモデルです。

高精度：±0.8%F.S
高信頼性：ゼロ点安定：±20mV/y(typ)

仕様

SEF-4401

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量計測範囲	0〜100% F.S.(フルスケール)
流量精度	±0.8% F.S.(フルスケール)

SEF-4501

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量計測範囲	0〜100% F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0% F.S.(フルスケール)

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