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	SEF-400 series
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マスフローメータ

SEF-400 series

概要

マスフローメータのベーシックモデルです。
コンパクトサイズのSEF-310や大流量対応のSEF-623、高精度モデル：SEF-405(±0.5％F.S.精度)などご用途に合わせたモデルをラインアップしています。

仕様

SEF-310

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-320

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-405

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N₂.Ar.H₂.O₂.CO₂.CH₄.C₃H₈
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±0.5％ F.S.(フルスケール)

SEF-410

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-510

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-510A

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-520A

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-551

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	30/50/100 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-552

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	30/50/100 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-610

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	50/100/150 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-620

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	50/100/150 SLM
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEF-623

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
標準流量レンジ	150/200 SLM (H₂:300SLM)
流量計測範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

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