高温対応マスフローメータ

概要

• 高温対応：120℃ベーキング対応
• ご使用温度に対応したモデルをラインアップ

仕様

SEF-2410
接ガス部材質	SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)　使用温度：35〜80℃(要ご指定)

SEF-2510
接ガス部材質	SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)　使用温度：35〜80℃(要ご指定)

SEF-2551
接ガス部材質	SUS-316L、バイトン
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	0〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)　使用温度：35〜80℃(要ご指定)