 |
|
|
マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
Multi Range/ Multi Gas Digital Mass Flow Controller
仕様
デジタル／アナログ通信モデル
|
マスフローコントローラ型式 ※1
|
SEC-Z512KX
|
SEC-Z512MGX
|
SEC-Z522MGXN
|
SEC-Z522MGX
|
| SEC-Z512X |
SEC-Z522XN |
SEC-Z522X |
|
マスフローメータ型式 ※1
|
SEF-Z512KX
|
SEF-Z512MGX
|
SEF-Z522MGXN
|
SEF-Z522MGX
|
| SEF-Z512X |
SEF-Z522XN |
SEF-Z522X |
|
フルスケール流量
(N2換算流量)
|
1/2SCCM
|
MR・MG番号
#R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM
|
MR・MG番号
#6.5: 22SLM
#07: 30SLM
#08: 50SLM
|
|
バルブ型式
|
非通電時 閉(クローズ)：C / 開(オープン)：O
|
|
コントロール
バルブ全閉時流量
|
フルスケールの2%以下
|
|
流量制御範囲
|
フルスケールの2〜100%
|
|
流量測定範囲(SEF)
|
フルスケールの0〜100%
|
|
流量精度 ※2
|
±1.0%F.S.
|
±1.0%S.P.(設定流量＞25%F.S.)
±0.25%F.S.(設定流量≦25%F.S.)
|
|
使用可能周囲温度
|
5〜50℃(推奨温度15〜45℃)
|
|
応答性
|
1秒以内：全流量制御範囲
|
|
直線性
|
フルスケールの±0.5%
|
|
繰り返し再現性
|
フルスケールの±0.2%
|
|
動作差圧
|
50〜300kPa(d)
|
50〜300kPa(d)
#5.5,#06:100〜300kPa(d)
|
200〜300kPa(d)
|
|
使用圧力(SEF)
|
300kPa(d)以下
|
|
最大動作
(使用)圧力
|
450kPa(g)
|
|
耐圧
|
1000kPa(g)
|
|
外部リークレート
|
5×10-12Pa・m3/s(He)以下
|
|
流量設定信号
|
0.1〜5VDC(2%〜フルスケール) 入力インピーダンス 1MΩ以上
|
|
流量出力信号
|
0〜5VDC(0%〜フルスケール) 最小負荷抵抗 2kΩ
|
|
デジタルインターフェイス
|
アドレス機能付：RS-485(伝達速度 38400bps)
F-Net Protocol
|
|
接ガス部材質
|
SUS-316L、内面研磨処理標準
|
|
駆動電源
|
+15V±5% 150mA
−15V±5% 150mA
|
|
信号取合
|
アナログ：D-Sub9ピン(TOP)
デジタル：LANジャック 2ケ(TOP)
|
|
標準継手 ※3
|
1/4 VCR相当
オプション：1.125 IGS, 1.5 IGS
|
1/4 VCR相当
オプション：1.125 IGS |
1.5 IGS |
|
取付可能姿勢
|
自由
|
|
|
マスフローコントローラ型式 ※1
|
SEC-Z532KVX
|
SEC-Z542KVX
|
|
マスフローメータ型式 ※1
|
SEF-Z532KX
|
SEF-Z542KX
|
|
フルスケール流量
(N2換算流量)
|
100SLM
|
200SLM
|
|
バルブ型式
|
非通電時 閉(クローズ)：C
|
|
コントロール
バルブ全閉時流量
|
フルスケールの5%以下
|
|
流量制御範囲
|
フルスケールの5〜100%
|
|
流量測定範囲(SEF)
|
フルスケールの0〜100%
|
|
流量精度 ※2
|
±1.0%S.P.(設定流量＞35%F.S.)
±0.35%F.S.(設定流量≦35%F.S.)
|
|
使用可能周囲温度
|
5〜50℃(推奨温度15〜45℃)
|
|
応答性
|
1.5秒以内 ：全流量制御範囲 (Typ.1秒)
|
|
直線性
|
フルスケールの±0.5%
|
|
繰り返し再現性
|
フルスケールの±0.2%
|
フルスケールの±0.5%
|
|
動作差圧
|
200〜300kPa(d)
|
|
使用圧力(SEF)
|
300kPa(d)以下
|
|
最大動作
(使用)圧力
|
300kPa(g)
|
|
耐圧
|
1000kPa(g)
|
|
外部リークレート
|
5×10-12Pa・m3/s(He)以下
|
|
流量設定信号
|
0.25〜5VDC(5%〜フルスケール) 入力インピーダンス 1MΩ以上
|
|
流量出力信号
|
0〜5VDC(0%〜フルスケール) 最小負荷抵抗 2kΩ
|
|
デジタルインターフェイス
|
アドレス機能付：RS-485(伝達速度 38400bps)
F-Net Protocol
|
|
接ガス部材質
|
SUS−316L、内面研磨処理標準、PTFE、磁性ステンレス
|
|
駆動電源
|
+15V±5% 150mA
|
+15V±5% 150mA
|
|
−15V±5% 250mA
|
−15V±5% 250mA
|
|
信号取合
|
アナログ：D-Sub9ピン(TOP)
デジタル：LANジャック 2ケ(TOP)
|
|
標準継手 ※3
|
3/8 VCR相当
オプション：1.5 IGS
|
1/2 VCR相当
|
|
取付可能姿勢
|
自由
|
|
※1 SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,Z522MGXN は、ユーザーサイドで専用ソフトを用いてガス種、フルスケールの変更が可能です。
※2 流量精度の保証温度は、SEMI規格 E56-1296に準拠しています。MR、MG番号のフルスケール値に対する精度です。
※3 IGS: 集積ガスシステムを示します。
※ SCCM、SLMはガス流量(mL/min、L/min、at0℃ 101.3kPa)を表す記号です。
アナログ通信モデル
|
マスフロー
コントローラ型式
|
SEC-Z511X
|
SEC-Z521XN
|
SEC-Z521X
|
|
マスフロー
メータ型式
|
SEF-Z511X
|
SEF-Z521XN
|
SEF-Z521X
|
|
フルスケール流量
(N2換算流量)
|
5/10/20/30/50/100 SCCM
200/300/500 SCCM
1/2/3/5/10 SLM
|
20/30/50SLM
|
|
バルブ型式
|
非通電時 閉(クローズ)：C / 開(オープン)：O
|
|
コントロール
バルブ全閉時流量
|
フルスケールの2%以下
|
|
流量制御範囲
|
フルスケールの2〜100%
|
|
流量測定範囲(SEF)
|
フルスケールの0〜100%
|
|
流量精度 ※2
|
±1.0%F.S.
|
|
使用可能周囲温度
|
5〜50℃(推奨温度15〜45℃)
|
|
応答性
|
1秒以内：全流量制御範囲
|
|
直線性
|
フルスケールの±0.5%
|
|
繰り返し再現性
|
フルスケールの±0.2%
|
|
動作差圧
|
50〜300kPa(d)
10SLM：100〜300kPa(d)
|
20/30SLM：150〜300kPa(d)
50SLM：200〜300kPa(d)
|
|
使用圧力(SEF)
|
300kPa(d)以下
|
|
最大動作
(使用)圧力
|
450kPa(g)
|
|
耐圧
|
1000kPa(g)
|
|
外部リークレート
|
5×10-12Pa・m3/s(He)以下
|
|
流量設定信号
|
0.1〜5VDC(2%〜フルスケール) 入力インピーダンス 1MΩ以上
|
|
流量出力信号
|
0〜5VDC(0%〜フルスケール) 最小負荷抵抗 2kΩ
|
|
接ガス部材質
|
SUS-316L、内面研磨処理標準
|
|
駆動電源
|
+15V±5% 150mA
−15V±5% 150mA
|
|
信号取合
|
D-Sub9ピン(TOP)
|
|
標準継手 ※3
|
1/4 VCR相当
オプション：1.125 IGS 1.5 IGS
|
1/4 VCR相当
オプション：1.125 IGS
|
1.5 IGS
|
|
取付可能姿勢
|
自由
|
|
|
マスフロー
コントローラ型式
|
SEC-Z531KVX
|
SEC-Z541KVX
|
|
マスフロー
メータ型式
|
SEF-Z531KX
|
SEF-Z541KX
|
|
フルスケール流量
(N2換算流量)
|
100SLM
|
200SLM
|
|
バルブ型式
|
非通電時 閉(クローズ)：C
|
|
コントロール
バルブ全閉時流量
|
フルスケールの5%以下
|
|
流量制御範囲
|
フルスケールの5〜100%
|
|
流量測定範囲(SEF)
|
フルスケールの0〜100%
|
|
流量精度 ※2
|
±1.0%F.S.
|
|
使用可能周囲温度
|
5〜50℃(推奨温度15〜45℃)
|
|
応答性
|
1.5秒以内：全流量制御範囲 (Typ.1秒)
|
|
直線性
|
フルスケールの±0.5%
|
|
繰り返し再現性
|
フルスケールの±0.2%
|
フルスケールの±0.5%
|
|
動作差圧
|
200〜300kPa(d)
|
|
使用圧力(SEF)
|
300kPa(d)以下
|
|
最大動作
(使用)圧力
|
300kPa(g)
|
|
耐圧
|
1000kPa(g)
|
|
外部リークレート
|
5×10-12Pa・m3/s(He)以下
|
|
流量設定信号
|
0.25〜5VDC(5%〜フルスケール) 入力インピーダンス 1MΩ以上
|
|
流量出力信号
|
0〜5VDC(0%〜フルスケール) 最小負荷抵抗 2kΩ
|
|
接ガス部材質
|
SUS-316L、内面研磨処理標準、PTFE、磁性ステンレス
|
|
駆動電源
|
+15V±5% 150mA
|
+15V±5% 150mA
|
|
−15V±5% 250mA
|
−15V±5% 250mA
|
|
信号取合
|
D-Sub9ピン(TOP)
|
|
標準継手 ※3
|
3/8 VCR相当
オプション：1.5 IGS
|
1/2 VCR相当
|
|
取付可能姿勢
|
自由
|
|
※2 流量精度の保証温度は、SEMI規格 E56-1296に準拠しています。
※3 IGS: 集積ガスシステムを示します。
※ SCCM、SLMはガス流量(mL/min、L/min、at0℃ 101.3kPa)を表す記号です。
DeviceNet™通信モデル 
|
マスフローコントローラ型式 ※1
|
SEC-Z514KX
|
SEC-Z514MGX
|
SEC-Z524MGXN
|
SEC-Z524MGX
|
|
マスフローメータ型式 ※1
|
SEF-Z514KX
|
SEF-Z514MGX
|
SEF-Z524MGXN
|
SEF-Z524MGX
|
|
フルスケール流量
(N2換算流量)
|
1/2SCCM
|
MR・MG番号
#R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM
|
MR・MG番号
#6.5:22SLM
#07:30SLM
#08:50SLM
|
|
バルブ型式
|
非通電時 閉(クローズ)：C / 開(オープン)：O
|
|
コントロール
バルブ全閉時流量
|
フルスケールの2%以下
|
|
流量制御範囲
|
フルスケールの2〜100%
|
|
流量測定範囲(SEF)
|
フルスケールの0〜100%
|
|
流量精度 ※2
|
±1.0%F.S.
|
±1.0%S.P.(設定流量＞25%F.S.)
±0.25%F.S.(設定流量≦25%F.S.)
|
|
使用可能周囲温度
|
5〜50℃(推奨温度15〜45℃)
|
|
応答性
|
1秒以内：全流量制御範囲
|
|
直線性
|
フルスケールの±0.5%
|
|
繰り返し再現性
|
フルスケールの±0.2%
|
|
動作差圧
|
50〜300kPa(d)
|
50〜300kPa(d)
#5.5,#06:100〜300kPa(d)
|
200〜300kPa(d)
|
|
使用圧力(SEF)
|
300kPa(d)以下
|
|
最大動作
(使用)圧力
|
450kPa(g)
|
|
耐圧
|
1000kPa(g)
|
|
外部リークレート
|
5×10-12Pa・m3/s(He)以下
|
|
デジタルインターフェイス
|
DeviceNet™ Protocol
|
|
接ガス部材質
|
SUS−316L、内面研磨処理標準
|
|
駆動電源
|
ODVA規格合格品 DC24V 4.0VA
|
|
標準継手 ※3
|
1/4 VCR相当
オプション：1.125 IGS, 1.5 IGS
|
1/4 VCR相当
オプション：1.125 IGS
|
1.5 IGS
|
|
取付可能姿勢
|
自由
|
|
|
マスフローコントローラ型式 ※1
|
SEC-Z534KVX
|
SEC-Z544KVX
|
|
マスフローメータ型式 ※1
|
SEF-Z534KX
|
SEF-Z544KX
|
|
フルスケール流量
(N2換算流量)
|
100SLM
|
200SLM
|
|
バルブ型式
|
非通電時 閉(クローズ)：C
|
|
コントロール
バルブ全閉時流量
|
フルスケールの5%以下
|
|
流量制御範囲
|
フルスケールの5〜100%
|
|
流量測定範囲(SEF)
|
フルスケールの0〜100%
|
|
流量精度 ※2
|
±1.0%S.P.(設定流量＞35%F.S.)
±0.35%F.S.(設定流量≦35%F.S.)
|
|
使用可能周囲温度
|
5〜50℃(推奨温度15〜45℃)
|
|
応答性
|
1.5秒以内：全流量制御範囲 (Typ.1秒)
|
|
直線性
|
フルスケールの±0.5%
|
|
繰り返し再現性
|
フルスケールの±0.2%
|
フルスケールの±0.5%
|
|
動作差圧
|
200〜300kPa(d)
|
|
使用圧力(SEF)
|
300kPa(d)以下
|
|
最大動作
(使用)圧力
|
300kPa(g)
|
|
耐圧
|
1000kPa(g)
|
|
外部リークレート
|
5×10-12Pa・m3/s(He)以下
|
|
デジタルインターフェイス
|
DeviceNet™ Protocol
|
|
接ガス部材質
|
SUS-316L、内面研磨処理標準、PTFE、磁性ステンレス
|
|
駆動電源
|
ODVA規格合格品
DC24V 7.5VA
|
ODVA規格合格品
DC24V 7.0VA
|
|
標準継手 ※3
|
3/8 VCR相当
オプション： 1.5 IGS
|
1/2 VCR相当
|
|
取付可能姿勢
|
自由
|
|
※1 SEC(SEF)-Z514MGX,Z524MGX,Z524MGXN は、ユーザーサイドで専用ソフトを用いてガス種、フルスケールの変更が可能です。
※2 流量精度の保証温度は、SEMI規格 E56-1296に準拠しています。MR、MG番号のフルスケール値に対する精度です。
※3 IGS: 集積ガスシステムを示します。
※ SCCM、SLMはガス流量(mL/min、L/min、at0℃ 101.3kPa)を表す記号です。
型式の選定について
| SEC-Z512MGX |
O |
T |
1 |
_ |
, |
MR.MG-02 |
, |
100SCCM |
, |
4CR |
B |
, |
SUC, |
(N2) |
, |
| SEC-Z514MGX |
C |
_ |
1 |
1 |
, |
MR.MG-04 |
, |
10SLM |
, |
14C |
3 |
, |
SUC, |
(H2) |
, |
| SEC-Z532KVX |
C |
T |
1 |
_ |
, |
_ |
, |
100SLM |
, |
6CR |
J |
, |
SUC, |
(N2) |
, |
| (1) |
(2) |
(3) |
(4) |
(5) |
|
(6) |
|
(7) |
|
(8) |
(9) |
|
(10) |
(11) |
|
|
(1) 型式
(2) バルブタイプ(SECの場合)
O：ノーマリーオープン
C：ノマリークローズ
(3) DeviceNet™コネクタ位置
デバイスネットのみ“S”“T”の選択が行えます。
T：ケース上部
S：ケース側面
(4) 検量線数
1：標準
(5) DeviceNet™出力範囲
ブランク: DeviceNet™モデル以外
1: 流量出力フルスケール“100%F.S.”(SEC-Z5_4MGXに対応)
3: 流量出力フルスケール“133%F.S.”(SEC-Z5_4MGXに対応)
5: 流量出力フルスケール“133.329%F.S.”(SEC-Z5_4MGXに対応)
(6) MR/MG番号
ブランク：Z5__KVXシリーズに対応
MR.MG番号を指定してください。詳細は仕様一覧をご確認下さい。
(7) フルスケール流量
(8) 継手
4CR: 1/4 VCR Male Type Fitting
6CR: 3/8 VCR Male Type Fitting
4IS: 1/4 SWAGELOK Male Type Fitting
6IS: 3/8 SWAGELOK Male Type Fitting
14C: 1.125 C-seal, i.d. 1/4
14W: 1.125 W-seal, i.d. 1/4
24W: 1.5 W-seal, i.d. 1/4
24S: 1.5 CS-seal, i.d. 1/4
24B: 1.5 B-seal, i.d. 1/4
(9) 継手間距離
B : 106 mm
E : 156 mm
G : 177 mm
H : 179 mm
J : 150.4 mm
L : 124 mm
M: 127 mm
集積継手ポート間距離
2 : 79.8 mm
3 : 92 mm
5 : 96 mm
(10) 内面研磨
SUC：全モデル標準
※内面研磨処理は標準ですのでご注文時の記載は不要です。
(11) 使用ガス種
ブランク:MR.MG対応でガス種を指定しない場合
ガス名
デジタル／アナログ通信モデル
| 記号 |
名称 |
説明 |
| A |
デジタル通信コネクタ |
RS-485通信。デイジーチェーン接続が可能。 |
| B |
アナログコネクタ |
駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ |
| C |
ZEROアジャストスイッチ |
ゼロ点補正用スイッチ |
| D |
MAC ID設定スイッチ |
0×01〜0×99の範囲で設定可能。
(但し、0×△A〜△Fは設定不可) |
| E |
インジケータLED |
アナログ通信時：緑点灯
デジタル通信時：緑点滅
※アラーム時、ゼロ点補正異常時は、赤色になります。 |
DeviceNet™通信モデル 
| 記号 |
名称 |
説明 |
| F |
DeviceNet™コネクタ |
DeviceNet™通信用。
シールド型マイクロコネクタ。 |
| G |
通信速度設定スイッチ |
通信速度を設定。 |
| H |
ZEROアジャストスイッチ |
ゼロ点補正用スイッチ。 |
| I |
MAC ID設定スイッチ |
00〜63の範囲で設定可能。 |
| J |
インジケータLED |
NET：ネットワークの状態を表します。
MOD：ノードの状態を表します。 |
|
|
