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マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
Multi Range/ Multi Gas Digital Mass Flow Controller
Multi Gas / Multi Range対応
ユーザーサイドでのガス種変更、フルスケール流量変更を可能にしました。仕様変更には専用のソフトウェア(Z500 Configuration Software)をご準備しています。マスフローコントローラをガスパネルや配管から取り外す事なく、仕様が変更できます。また、お客様に予備品として管理いただいているMFCの低減と、コスト・時間の削減をご提案できる機能です。
Multi Gas対応
ガス種の変更が自由です。
| 例：SEC-Z500X MR・MG02 |
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Multi Range対応
フルスケール変更が自由です。
| 例：SEC-Z500X MR・MG04 |
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流量制御範囲
20〜1000SCCM |
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流量制御範囲
5〜250SCCM |
フルスケール流量の変更範囲
校正ガスのフルスケール流量値(FS値)は、プロセスガス個々の熱伝導率の違いにより、同じFS値であってもMR・MG番号が異なる場合があります。より高精度な流量校正を行う目的により弊社では下記MR・MG番号をラインアップしています。
ガス・フルスケール流量の一例
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ガス種
＼
MR・MG番号
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N2 |
Ar |
H2 |
SF6 |
HBr |
WF6 |
| SEC-Z51□X series |
| R01 |
3−10 |
ー |
ー |
ー |
ー |
ー |
| R1.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
ー |
ー |
| 01 |
8−30 |
12−35 |
8−30 |
5−11 |
5−9 |
ー |
| 1.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
9−17 |
ー |
| 02 |
25−100 |
35−110 |
25−100 |
9−36 |
16−31 |
5−6 |
| 2.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
25−50 |
6−11 |
| 03 |
75−300 |
110−350 |
75−300 |
28−100 |
44−86 |
10−20 |
| 3.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
79−150 |
19−37 |
| 04 |
250−
1000 |
350−
1100 |
250−
1000 |
90−350 |
150−280 |
34−67 |
| 4.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
280−540 |
60−110 |
| 05 |
750−
3000 |
1100−
3500 |
750−
3000 |
260−
1000 |
470−930 |
110−200 |
| 5.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
860−
1700 |
190−370 |
| 06 |
2500−
10000 |
3500−
11000 |
2500−
10000 |
780−
3100 |
1600−
3100 |
360−700 |
| SEC-Z52□X series |
| 6.5 |
／ |
／ |
／ |
／ |
ー |
ー |
| 07 |
10000−
30000 |
10000−
30000 |
10000−
30000 |
ー |
ー |
ー |
| 08 |
30000−
50000 |
30000−
50000 |
30000−
50000 |
ー |
ー |
ー |
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(最小流量ー最大流量)
Configuration Software: 仕様変更ソフトについて
 マルチレンジ・マルチガス機能は、Configuration Softwareにより行います。本ソフトは使用されるガス種、流量レンジを入力して頂く事により“MR・MG番号”を選択できる機能や、お客様の受入検査時に行われるN2ガスによる流量測定時に便利な“N2ガス換算機能”を持っています。弊社では本ソフトを間違い無くご使用頂く目的で、操作説明セミナーを開催しています。当セミナーの開催につきましては弊社までご依頼下さい。
| 名称 |
備考 |
| パソコン |
OS:日本語・英語、Windows2000・XP |
| ソフトウェア |
Configuration Software
ご使用に関しては弊社開催のセミナーを受講いただきます |
| 通信変換機 (Serial converter) |
RS-485 |
| 変換アダプタ (CA-DP9RJ45) |
通信変換機〜LANケーブル |
| RS232Cケーブル |
PC〜通信変換機 |
| LANケーブル |
SEC-Z500通信用LANケーブル |
| USB-シリアル変換機 |
シリアルポートを装備していないパソコンに必要 |
| ラベルプリンタ |
弊社へお問い合わせください |
ソフトウェア以外の機器に関してはお客様にご準備頂けます。詳細仕様に関してはお問い合わせください。
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