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マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
Multi Range/ Multi Gas Digital Mass Flow Controller
デジタルマスフローコントローラ監視システム eDiagnostic
半導体デバイスの量産工場では、生産設備に対する“予知保全”の重要性が認識され、予知保全対策が生産性向上の要因と考えられています。弊社ではプロセスのキーデバイスと称されるマスフローコントローラ(MFC)の予知保全システムをご提案しています。MFCの予知保全システムとは、流量の制御状態とMFCのバルブポジションを同時に監視し総合的なMFCの流量制御状態を判断します。
MFCが流量制御不能となる前にメンテナンスのご推奨を行う予知保全システムです。MFCの流量制御状態のみの監視では予知保全的な判断が困難と考えられています。
本マスフローコントローラ監視システムでは、半導体製造装置に搭載されているデジタルMFC(アナログ制御)の制御状態をデジタル通信により取り込み、予知保全に対する監視を行います。また本システムはLAN(TCP/IP)のネットワークに対応しており、半導体製造装置毎のMFCの制御状態を上位に位置する1台のCMS PCにより監視する事が行えます。広範囲なエリアにおけるネットワーク構築も比較的容易に行えます。
Sample system setup
1台のLogging PCは40台までのデジタルMFCの制御状態をロギングします。またCMSPC(監視サーバー)はLogging PC(MAX10台)とLAN接続され、デジタルMFCの制御状態を監視し予知保全に対する判断を行います。
Logging PCがデジタルMFCを監視する情報は“流量設定値”“流量出力値”“バルブポジション”の3種です。これらの情報を1秒毎(MAX)にロギングしCMPPCにより制御状態を判断します。ロギングデータは最大60日間保存できます。予知保全の他、不具合発生の原因調査やガス系の圧力変化等の状態を遡り確認する事ができます。(表示可能範囲：1時間)
デジタルMFC通信チェックソフト： RS-485、DeviceNet™通信に対応
弊社デジタルMFCのプロトコール（F-net プロトコール)に対応した通信確認ソフトです。PLC、PC等の制御機器とSEC-Z500Xシリーズ間の通信状況の確認が容易に行えます。デジタル通信ケーブル、信号変換器が適切な設置状態の確認の他、デジタルMFCのアドレス通信により、本体にインストールされている情報やバルブ動作状態の確認・制御等が行えます。特にDeviceNet™通信においては、デジタル通信のみで動作しています。このためデジタルMFCの動作確認を行う為には、装置に搭載されている制御機器による制御が必要でしたが、本ソフトウェアとPC、DeviceNet™通信機器により容易に制御状態が確認できます。
デジタルMFC簡易監視ソフト
デジタルMFC監視システム"eDiagnostic"に採用されている監視ソフトです。デジタル通信によりMFCの制御状態を監視し、その状態をログとしてPCに保存します。また流量制御状態とバルブ開度の監視により警報を出力する機能も搭載しています。リアルタイムに制御状態を監視することにより制御状態の変化、ガス供給状態の変化を遡りして確認でき、不具合発生時の検証が行え原因の調査に役立ちます。
デジタルMFC制御ソフト
弊社デジタルMFCのプロトコール(F-net プロトコール)に対応した制御ソフトです。デジタルMFCの流量制御(ステップ制御、ループ制御機能等)の他、同一のガスラインに設置されたバルブの開閉制御信号の出力機能を装備しています。小規模なガス供給系の制御ソフトとして最適です。
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