マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
Multi Range/ Multi Gas Digital Mass Flow Controller

新開発のVariable PIDアルゴリズム(特許出願中)を搭載し、全流量制御域において1秒以内の高速応答を実現しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量の変位に応じたPID係数を連続的に変化するものです。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答を実現しています。