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マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
Multi Range/ Multi Gas Digital Mass Flow Controller
±1.0% S.P.(セットポイント)精度を向上
多項式近似曲線による高度な補正を施すことにより、全流量制御域における流量精度の高精度化を実現しました。また、多種にわたるプロセスガス流量を高精度流量基準システムを用いて計測し、プロセスガス流量精度の向上をはかっています。
Accuracy |
| ±1.0% S.P. |
： 25−100% F.S. |
| ±0.25% F.S. |
： ≦25% F.S. |
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y=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f |
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ガス流量特性カーブ
プロセスに使用されるガスは様々な物性を持っています。このためSEC-Z500Xシリーズが採用した流量校正機能は、個々のプロセスガスにおける流量特性を流量レンジ毎に高度に計測したデータに基づき校正を行います。膨大な計測データと信頼性の高い流量センサ、最新の校正技術により高精度なプロセスガス流量の制御を実現しました。
トレーサビリティー
SEC-Z500Xシリーズの流量校正は米国標準技術局(NIST: National Institute of Standards and Technology)とのトレーサビリティーがなされています。NIST標準を満たした流量基準機器により流量校正を行っています。
高精度流量基準システム
 日本、米国の2拠点には最新の高精度流量基準システムを設置しています。ビルドアップ法によるシステムは、毒性の高いガスや活性度の高いガスをはじめとしたプロセスガス流量を高精度に計測できます。計測したデータを本社に設置しているデーターベースにより一元管理し、プロセスガス流量の高精度化に努めています。
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