 |
|
|
マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
Multi Range/ Multi Gas Digital Mass Flow Controller
RoHS指令対応オールインワンのハイエンドモデル
半導体製造装置のキーパーツ、マスフローコントローラ。
その性能・品質は、半導体デバイスのクオリティそのものに
影響を与えるほど重要な役割を担っています。
そんなシビアな業界にあって、高品質で機能性に富む製品を次々に市場へ投入し、
世界シェア30％以上※1を誇る堀場エステックから、
従来の概念を打ち破った全く新しいタイプのマスフローが誕生しました。
「SEC-Z500X」
これまでガスの種類ごと、あるいは流量ごとに必要だった
マスフローの機能を集約しています。
お客様ご自身で今必要とされるマスフローへご自身で仕様変更※2いただけます。
しかもRoHS規制に対応しており、環境保全、企業価値の向上にもお役立ちします。
未知の魅力にあふれた、高機能・高付加価値の「X」。
まさに半導体業界の未来を担うマスフローの誕生です。
※1 VLSIリサーチ社レポート2005より
※2 マルチガス・マルチレンジ機能
特長
●Multi Range/Multi Gas 対応。お客様ご自身でマスフローコントローラの仕様変更が行なえます。
●微少流量(5SCCM F.S)から大流量(200SLM F.S.)までフルラインアップ。
●高精度：±1.0% S.P.(セットポイント)保証。
●高速応答：フルレンジ1秒以内(T98) Variable PIDを搭載。
●コンパクトサイズ：面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。
●ウルトラクリーン対応：接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。
 |
品質・信頼 |
業界をリードする堀場エステックの高信頼性
堀場エステックは世界中の装置メーカーから支持されています。
これは、最高水準の品質を持つ信頼性の高い製品を供給し続けている証に他なりません。
 |
安定供給 |
京都・阿蘇・米国の拠点体制で安定的な供給を実現
ヘッドクオーター機能を有する“京都”、最新の生産設備を完備しHORIBAグループの量産工場と新たに誕生した“阿蘇”、ウルトラクイックサプライヤーを実現する“米国” 2拠点(CA、TX)体制を整えています。
※阿蘇新工場は2005年10月に竣工しました。
 |
グローバルサポート |
国際ネットワークを活用した安心のサポート体制
世界中に張りめぐらせたネットワークを活用して、スキルの高いエンジニアがきめ細かくサポートします。
 |
RoHS対応 |
RoHS規制に対応
地球環境保全活動を通して全うする企業の社会的責任(CSR)。
環境分析機器のトップメーカー、HORIBAのグループ企業として常に地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。
RoHS規制とは…
Restriction of Hazardous Substancesの略で、電気・電子部品に含まれる鉛・水銀・カドミウム六価クロム・ポリ臭化ビフェニール(PBB)・ポリ臭化ジフェニルエーテル(PBDE)の6物質(有害物質)の使用を制限するEU(欧州連合)の規制。
|
|
