マルチレンジ/マルチガス
デジタルマスフローコントローラ

接ガス部材質

SUS316L、内面研磨処理標準

バルブ型式

非通電時 開 非通電時 閉

標準流量レンジ
(N₂相当F.S.)

#01: 30/#1.5: 55/#02: 100/#2.5: 175/#03: 300/#3.5: 550 SCCM
#04: 1/#4.5: 1.75/#05: 3/#5.5: 5.5/#06: 10 SLM

#07: 30/#08: 50 SLM
(N₂,H₂,Ar,O₂) ＊2

流量制御範囲

2〜100% F.S.

応答速度

1秒以内 (T98)

流量精度＊1

±1.0%S.P.以内(25〜100%F.S.)
±0.25%F.S.以内(2〜25%F.S.)

直線性

±0.5% F.S.

繰返性

±0.2% F.S.

動作差圧

50〜300kPa (d)
#5.5 and #06 100〜300kPa(d)

#07: 200〜300kPa(d)
#08: 200(valve C)/250(valve O)〜300kPa(d)

最大動作圧力

450 kPa (G)

耐圧

1MPa(G)

外部リークレート

5×10^-12Pa・m³/s (He)

使用可能周囲温度

5〜50℃

流量設定信号

Digital : RS-485 (F-Net protocol)
DeviceNet™ : (SEC-Z514MG/Z524MG)
Analog : 0.1〜5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上)

流量出力信号

Digital : RS-485 (F-Net protocol)
DeviceNet™ : (SEC-Z514MG/Z524MG)
Analog : 0〜5VDC (最小負荷抵抗2kΩ)

駆動電源

＋15V ±5% 150mA
−15V ±5% 150mA
DeviceNet™ : Conforms to ODVA standard (rated value 24VDC (11 to25VDC) 4.0VA

標準継手

1/4VCR タイプまたは集積ガスパネル対応フランジ