マルチレンジ/マルチガス
デジタルマスフローコントローラ

新開発のVariable PIDを搭載し、フルレンジ１秒以内の高速応答を実現しました。Variable PIDとは、設定流量の変位に応じたPID係数を連続的に変化するものです。流量の変化量、ガス種による固定PID係数の設定を行わないため、フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答を実現しています。