マルチレンジ/マルチガス
デジタルマスフローコントローラ

多項式近似曲線による高度な補正を施す事により、全流量制御域における流量精度の高精度化を実現しました。
また、多種にわたるプロセスガス流量を高精度流量基準システムを用いて計測し、実ガス流量精度の向上を計っています。