マルチレンジ/マルチガス
デジタルマスフローコントローラ

Multi Gas/Multi Range 対応

高精度：±1.0% S.P.(セットポイント)保証

高速応答：フルレンジ1秒以内(T98) Variable PIDを搭載

微少流量から大流量(200SLM : SEC-Z540シリーズ)に対応

コンパクトサイズ：面間距離 106mm、1.125inchガスパネルに対応、50SLMまで同一面間距離の106mm

ウルトラクリーン対応：接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準

アナログMFCとの完全互換：デジタル/アナログ通信に対応(SEC-Z512MG/Z522MG)

DeviceNet™インターフェースに対応(SEC-Z514/Z524MG)