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	SEC-Z10D/Z10DW series
	外形寸法

デバイスネット対応デジタルマスフローコントローラ

SEC-Z10D/Z10DW series

概要

従来の高性能マスフローコントローラにデバイスネット通信機能を搭載した最新モデルです。

ODVA、SEMI SIGのコンフォーマンステストに全モデルに合格
フルスケール5SCCM〜100SLMの各種流量をラインアップ
高速応答：クイックスタート機能搭載
ピエゾバルブ搭載のウルトラクリーンモデル
1.125インチピッチのバスパネルに対応：SEC-Z11D/Z12D

仕様

SEC-Z11D

接ガス部材質	SUS-316L　内面研磨処理標準
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-Z12D

接ガス部材質	SUS-316L　内面研磨処理標準
バルブ形式	非通電時:閉
標準流量レンジ	20/30 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-Z11DW

接ガス部材質	SUS-316L　内面研磨処理標準
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-Z12DW

接ガス部材質	SUS-316L　内面研磨処理標準
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	20/30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-Z13DW

接ガス部材質	SUS-316L　内面研磨処理標準
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	100 SLM (H₂:200SLM)
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

デバイスネット通信対応モデルの電源容量について
電源投入時の突入電流を考慮して、駆動電源の4倍以上の電源容量を確保頂く事を推奨致します。

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