型式 |
SEC-
(マスフローコントローラ) |
V110DM |
V120DM |
SEF-
(マスフローメータ) |
V110DM |
V120DM |
接ガス部材質 |
SUS316L.PTFE.磁性ステンレス |
バルブ型式 |
非通電時 開 非通電時 閉 |
非通電時 閉 |
標準流量レンジ
(N2相当F.S.) |
10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM
1/2/3/5/10 SLM |
20/30/50 SLM |
流量制御範囲
(SECシリーズに対応) |
2〜100% F.S. |
流量計測範囲
(SEFシリーズに対応) |
0〜100% F.S. |
応答速度 |
1秒以内(T98) |
流量精度*1 |
±1.0% S.P.以内[30〜100% F.S.]/±0.3% F.S.以内[2〜30% F.S.] |
直線性 |
±0.5% F.S.以内 |
繰返性 |
±0.2% F.S.以内 |
動作差圧*2
(SECシリーズに対応) |
50〜300kPa(d)
10SLM:100〜300kPa(d) |
150〜300kPa(d)
50SLM:250〜300kPa(d) |
動作差圧*2 |
300kPa(d) |
耐 圧 |
1MPa(G) |
外部リークレート |
5×10-12Pa・m3/s(He)以下 |
シール方法 |
メタルシール |
使用可能周囲温度 |
5〜50℃ |
温度影響 スパン |
0.08% F.S./℃ |
流量設定信号 |
アナログ：0.1〜5VDC/2〜100%(入力インピーダンス1MΩ以上)
デジタル：RS-422A(F-Net プロトコール) |
流量出力信号 |
アナログ：0〜5VDC(最小負荷抵抗2MΩ以上)
デジタル：RS-422A(F-Net プロトコール) |
駆動電源 |
+15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 200mA |
+15VDC ±5% 150mA/-15VDC ±5% 250mA |
標準継手 |
1/4VCRタイプ または集積ガスパネル対応フランジ |
標準付加機能 |
クイックスタート機能*3、オートクローズ機能*3、バルブ電圧機能*3
オートゼロ機能(SEC-V110DM)*3、ゼロアジャストスイッチ |
