デジタルマスフローコントローラ

高精度：±1.0%S.P.(セットポイント)(30〜100% F.S.)

高速応答：クイックスタート機能を搭載し1秒以内の応答を実現

傾斜影響対策モデル(MFモデル)をラインアップ：
サーマルサイフォニング現象を原理的に対策したMFセンサを搭載

アナログMFCとの完全互換

コンパクトサイズ：面間距離106mm、集積ガスパネル対応