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マスフローコントローラ
SEC-E40MK3/E50MK3
マスフローコントローラ
SEC-E40MK3/E50MK3
概要
ソレノイドバルブを搭載し、コストパフォーマンスに優れた高性能、高速応答タイプのマスフローコントローラです。微少流量から大流量：500SLMまで対応可能なシリーズです。バーナーガス制御、各種実験装置におけるガスの精密流量制御、自動化を要求される流量制御設備などに最適です。
仕様
SEC-E40MK3
接ガス部材質
SUS-316、バイトン
バルブ形式
非通電時:閉
標準流量レンジ
10/20/50/100/200/500 SCCM
1/2/3/5/10 SLM
流量制御範囲
2〜100％ F.S.（フルスケール）
流量精度
±1.0％ F.S.（フルスケール）
校正ガス種
N
2
.O
2
.Air.Ar.H
2
.He
SEC-E50MK3
接ガス部材質
SUS-316、バイトン
バルブ形式
非通電時:閉
標準流量レンジ
20/30 SLM
流量制御範囲
2〜100％ F.S.（フルスケール）
流量精度
±1.0％ F.S.（フルスケール）
校正ガス種
N
2
.O
2
.Air.Ar.H
2
.He
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