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マスフローコントローラ
SEC-E400J series
外形寸法
マスフローコントローラ
SEC-E400J series
概要
ソレノイドバルブ搭載のローコスト、メタルシールモデルです。
オートゼロ機能を標準装備し、異常発生時には本体LEDが赤灯しアラーム出力を行います。
仕様
SEC-E440J
接ガス部材質
SUS-316L、テフロン、磁性ステンレス
バルブ形式
非通電時:閉
標準流量レンジ
5/10/20/50/100/200/500 SCCM
1/2/3/5/10 SLM
流量制御範囲
2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度
±1.0％ F.S.(フルスケール)
SEC-E450J
接ガス部材質
SUS-316L、テフロン、磁性ステンレス
バルブ形式
非通電時:閉
標準流量レンジ
20/30 SLM
流量制御範囲
2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度
±1.0％ F.S.(フルスケール)
関連製品
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