
	Home > 製品 & サポート > 高温対応マスフローコントローラ

製品画像

	SEC-8000 series
	外形寸法

高温対応マスフローコントローラ

SEC-8000 series

概要

ピエゾバルブ搭載の高温環境で使用可能なマスフローコントローラです。

高温対応：150℃ベーキング対応
ご使用温度に対応したモデルをラインアップ
ウルトラクリーン対応：接ガス部オールステンレス構造
MOCVD用有機金属材料、低蒸気圧材料、腐食性ガスの流量制御に最適

仕様

SEC-8340SL 本体加温ヒータ搭載

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8440LSL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8450LSL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8455LSL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8460LSL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	50/100 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：15〜35℃

SEC-8440LSM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8450LSM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8455LSM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8460LSM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	50/100 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：35〜60℃

SEC-8440LSH

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8450LSH

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8455LSH

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8460LSH

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	50/100 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：60〜80℃

SEC-8440SL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8450SL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	3/5/10 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8455SL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8460SL

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	20/30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：80〜100℃

SEC-8440SM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8450SM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	3/5/10 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8455SM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：100〜120℃

SEC-8460SM

接ガス部材質	SUS-316L
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	20/30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール) 　使用温度：100〜120℃

関連製品

マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ
SEC-Z500X series

RoHS指令対応オールインワンのハイエンドモデル

Copyright © 2008 HORIBA STEC, Co.,Ltd. All rights reserved. この文書に記載されている情報は通知なく変更されることがあります。ウェブサイトで更新を確認してください。このページは次の場所からコピーされました。