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	SEC-7300 series
	外形寸法

マスフローコントローラ(ピエゾアクチュエータバルブ)

SEC-7300 series

概要

新型センサーの採用により高性能及びゼロ点の長期安定を実現

高速応答：T98：1秒以内
コンパクトサイズ面間距離 106mm

仕様

SEC-7320

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	1/2/3　SCCM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-7330

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-7340

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	3/5/10 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-7350

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	20/30 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-7355

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	50 SLM(H2:100LSM)
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-7340LD

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	2/3/5/10 SCCM 20 SCCM .15Torr 30SCCM 20Torr
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

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