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大流量対応マスフローコントローラ
SEC-6470/6480
外形寸法
大流量対応マスフローコントローラ
SEC-6470/6480
概要
大流量(〜1000SLM)対応のマスフローコントローラです。
独自の空圧メタルダイヤ不ラムバルブの採用により、大流量ながらオールメタル構造を実現したモデルです。
仕様
SEC-6470
接ガス部材質
Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式
非通電時:閉
標準流量レンジ
100/200/300/500 SLM
流量制御範囲
5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度
±2.0％ F.S.(フルスケール)
SEC-6480
接ガス部材質
Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式
非通電時:閉
標準流量レンジ
1000 SLM
流量制御範囲
10〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度
±2.0％ F.S.(フルスケール)
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