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	SEC-4400 series
	外形寸法

マスフローコントローラ(ピエゾアクチュエータバルブ)

SEC-4400 series

概要

ステンレスダイヤフラム、メタルOリング(Mタイプ)採用のウルトラクリーン対応MFC
微少流量から大流量まで広範囲にわたる流量制御が可能

仕様

SEC-4400

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-4500

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-4550

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-4600

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	50/100 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-4400MF

接ガス部材質	Mタイプ；SUS316L.
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-4500MF

接ガス部材質	Mタイプ；SUS316L
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-4400SP

接ガス部材質	Mタイプ；SUS316L.バイトン
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200 SCCM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	1秒以内(T98)

SEC-4400SR

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	0.5〜100％ F.S.
流量精度	1秒以内(T98)

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