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マスフローコントローラ
SEC-400MK3/500MK3
外形寸法
マスフローコントローラ
SEC-400MK3/500MK3
概要
サーマルバルブ搭載のベーシックモデルです。
ベストセラーモデルのSEC-400シリーズにコストパフォーマンスをプラスした
低価格モデルです。
仕様
SEC-400MK3
接ガス部材質
SUS-316、バイトン
バルブ形式
非通電時:開
標準流量レンジ
10/20/50/100/200/500 SCCM
1/2/3/5 SLM
流量制御範囲
5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度
±2.0％ F.S.(フルスケール)
校正ガス種
N
2
.O
2
.Air.Ar.H
2
.He
SEC-500MK3
接ガス部材質
SUS-316、バイトン
バルブ形式
非通電時:開
標準流量レンジ
10/20 SLM
流量制御範囲
5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度
±2.0％ F.S.(フルスケール)
校正ガス種
N
2
.O
2
.Air.Ar.H
2
.He
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