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	SEC-4401/4501 series
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マスフローコントローラ

SEC-4401/4501 series

概要

高精度、高速応答化による多チャンバー化の枚葉システムに最適なモデルです。

高精度：±0.8％F.S.
全流量域１秒以内の高速応答：ウルトラクイック機能搭載
高信頼性：ゼロ点安定：±20mV/y(typ)
マウントフリーセンサ搭載
SEC-4000シリーズ上位互換モデル

仕様

SEC-4401

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±0.8％ F.S.(フルスケール)

SEC-4501

接ガス部材質	Mタイプ：SUS-316L、Rタイプ：SUS-316L、バイトン
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

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