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	SEC-400 series
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マスフローコントローラ

SEC-400 series

概要

サーマルバルブ搭載のベーシックモデルです。
コンパクトサイズのSEC-310では、0.1SCCMからの微少流量制御が行えます。またSEC-623では200SLMまでの大流量制御が行えます。
高精度モデル：SEC-405は±0.5％F.S.の流量制御が行えます。

仕様

SEC-310

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/500 SCCM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-320

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	5/10/20/30/50/100/200/500 SCCM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-405

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N₂.Ar.H₂.O₂.CO₂.CH₄.C₃H₈
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±0.5％ F.S.(フルスケール)

SEC-410

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-510

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-510A

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-520A

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	30/50 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-551

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開または非通電時:閉
標準流量レンジ	30/50/100 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-552

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	30/50/100 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-610

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	50/100/150 SLM
流量制御範囲	10〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-620

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	50/100/150 SLM
流量制御範囲	10〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-623

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	150/200 SLM (H₂:300 SLM)
流量制御範囲	10〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-400MK2

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-500MK2

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-400MK3

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：Air.N₂.O₂.Ar.H₂.He
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

SEC-500MK3

接ガス部材質	SUS-316、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM ：Air.N₂.O₂.Ar.H₂.He
流量制御範囲	5〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±2.0％ F.S.(フルスケール)

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