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	SEC-2000 series
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高温対応マスフローコントローラ

SEC-2000 series

概要

ピエゾバルブ搭載の高温環境で使用可能なマスフローコントローラです。

高温対応：120℃ベーキング対応
ご使用温度に対応したモデルをラインアップ
TEOS気化供給システム：LSCシリーズ搭載モデルとして多数の実績を持っています。

仕様

SEC-2410

接ガス部材質	SUS-316L、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)　使用温度：35〜80℃(要ご指定)

SEC-2510

接ガス部材質	SUS-316L、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	10/20 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)　使用温度：35〜80℃(要ご指定)

SEC-2551

接ガス部材質	SUS-316L、バイトン®
バルブ形式	非通電時:開
標準流量レンジ	30/50/100 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.(フルスケール)
流量精度	±1.0％ F.S.(フルスケール)　使用温度：35〜80℃(要ご指定)

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