	Residual Gas Analyzer
	仕様
	測定原理
	MICROPOLE™ Analyzer
	構成例
	Wet clean recovery
	Sputter process monitoring

残留ガス分析計

RGA：MICROPOLE™ System

仕様

名称	プラズマガードモデル(SMPA-)^※1
型式	1-2/45	11-2/45	7-2/65	5-2/65	5-2/100	1-4/300
マスレンジ(AMU)	2〜45	2〜45	2〜65	2〜65	2〜100	4〜300
分解能(FWHM)	0.5 AMU	1.5 AMU	0.9 AMU	0.8 AMU	1 AMU	1.5 AMU
最大使用圧力	0.133 Pa (N₂) 1 mTorr (N₂)	1.466 Pa (N₂) 11 mTorr (N₂)	0.933 Pa (N₂) 7 mTorr (N₂)	0.666 Pa (N₂) 5 mTorr (N₂)	0.666 Pa (N₂) 5 mTorr (N₂)	0.133 Pa (N₂) 1 mTorr (N₂)
最小検知分圧	1.33 x 10^-8 Pa (N₂)
最小検知He リーク規格	2 x 10^-9 Pa·m³/s 2 x 10^-8 atm·cm³/s		2 x 10^-8 Pa·m³/s 2 x 10^-7 atm·cm³/s	2 x 10^-9 Pa·m³/s 2 x 10^-8 atm·cm³/s
フィラメント材質	Y₂O₃/Ir(標準) or Pure W (tungsten)
最大使用温度	150℃(最大ベーキング温度[センサ部]：350℃)
取付フランジタイプ	Type C：φ34 Conflat Flange　Type K：KF-16 Flange
スペクトラコンバータモデル^※2	SC6-18		SC6-14		SC6-11	SC6-07
インターフェース	RS232C/RS485(Selectable Baud Rates：9,600/19,200/38,400)
ソフトウェア	Win MPA(Microsoft Windows XP 2000、Me、NT4.0、95/98、3.1、3.11)

名称	センサモデル(MPA6-)^※1
型式	1-2/45	11-2/45	7-2/65	5-2/65	5-2/100	1-4/300
マスレンジ(AMU)	2〜45	2〜45	2〜65	2〜65	2〜100	4〜300
分解能(FWHM)	0.5 AMU	1.5 AMU	0.9 AMU	0.8 AMU	1 AMU	1.5 AMU
最大使用圧力	0.133 Pa (N₂) 1 mTorr (N₂)	1.466 Pa (N₂) 11 mTorr (N₂)	0.933 Pa (N₂) 7 mTorr (N₂)	0.666 Pa (N₂) 5 mTorr (N₂)	0.666 Pa (N₂) 5 mTorr (N₂)	0.133 Pa (N₂) 1 mTorr (N₂)
最小検知分圧	1.33 x 10^-8 Pa (N₂)
最小検知He リーク規格	2 x 10^-9 Pa·m³/s 2 x 10^-8 atm·cm³/s		2 x 10^-8 Pa·m³/s 2 x 10^-7 atm·cm³/s	2 x 10^-9 Pa·m³/s 2 x 10^-8 atm·cm³/s
フィラメント材質	Y₂O₃/Ir(標準) or Pure W (tungsten)
最大使用温度	150℃(最大ベーキング温度[センサ部]：350℃)
取付フランジタイプ	Type C：φ34 Conflat Flange　Type K：KF-16 Flange
スペクトラコンバータモデル^※2	SC6-18		SC6-14		SC6-11	SC6-07
インターフェース	RS232C/RS485(Selectable Baud Rates：9,600/19,200/38,400)
ソフトウェア	Win MPA(Microsoft Windows XP 2000、Me、NT4.0、95/98、3.1、3.11)

※1：MICROPOLE™ Analyzer には、SMPA型とMPA型があります。SMPAは、プラズマプロセスなどの厳しい環境でもご使用いただける様にメッシュ保護をしています。
※2：エレクトロンエネルギーは、70eVと43eVをパソコンより選択できます。
※AMU：Atomic Mass Unit.
※MICROPOLE™ はFerran Scientific社の商標です。
※Microsoft Windows XP 2000、Me、NT4.0、95/98、3.1、3.11は、マイクロソフト社の商標です。

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