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残留ガス分析計
Residual Gas Analyzer
仕様
測定原理
MICROPOLE™ Analyzer
構成例
Wet clean recovery
Sputter process monitoring
残留ガス分析計
RGA：MICROPOLE™ System
構成例
(複数のMICROPOLE™ をRS485通信する場合)
※MICROPOLETMを複数台ご使用される場合には、
1台目以降のCNL/CNI同士の通信はRS485のケーブルを選択してください。
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