残留ガス分析計

RGAはイオン源、質量分析部、計測部から構成されます。残留ガスは高温のフィラメントから放出された熱電子と衝突しイオン化され、生成したイオンは加速・収束されて質量分析部に導かれます。質量分析部では4本の円柱形電極(四重極)に直流及び交流電圧を印加することにより、イオンの質量がふるい分けられます。分離されたイオンはファラデーカップで電流として検出され、このイオン電流が残留ガスの量(分圧)に比例します。