残留ガス分析計

MICROPOLE™ Sytemの特徴は、超精密光エッチング加工技術及びガラス/金属接合技術を駆使して四重極を9組組合わせた、MICROPOLE™ Analyzer(MPA)です。このMPAの開発により大型の質量分析装置と同等以上の性能を有しながら世界最小クラスの残留ガス分析装置が実現しました。本分析部はプラグイン方式のユニットタイプであり、あらかじめ分圧校正されたセンサユニットを装着するだけで全圧および分圧の絶対値を計測できます。