残留ガス分析計

世界最小クラスのサイズと重さ

9対の四重極構造を採用

低真空(高圧)域での計測が可能：1.46Pa(11mTorr)

高速計測：スキャン速度〜0.6sec/mass、分解能0.5AMU、検出限界1.33X10^-8Pa

ディスポーザブル：センサヘッド対応

デガスが不要

KF16.φ34コンフラットフランジ取合い対応

各種グラフモードにより残留ガス分析が可能

ナノレベルに達した最新の半導体プロセスでは、ウェハ表面で所定の化学的・物理的反応状態を再現出来るか否かが最大の課題とされています。とりわけ各種の真空デバイスを用いるドライプロセスでは反応容器に残留するガス計測と制御に注目されています。当社では、世界最小クラスの四重極質量分析型(Quadrupole Mass Spectrometer：QMS)の残留ガス分析計(RGA)をご提供しています。