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ピエゾバルブ
PV series
外形寸法
ピエゾバルブ
PV series
概要
高速応答のピエゾバルブを内蔵し、接ガス部がオールメタル構造でウルトラクリーン対応の高純度ガス供給系に最適
メタルシール方式で超低リーク
ガスだけでなく、液体の流量制御も可能
仕様
PV-1000
流量レンジ
1/5/100/200/500 CCM
1/2/5 LM (入口大気圧、出口真空、N
2
換算)
流量制御範囲
フルスケールの2〜100%
バルブ方式
ノーマルオープン/クローズ型
制御入力1
0〜5VDC
応答性
0.5秒以内
使用温度
0〜50℃
使用圧力
MAX.300kPa
耐圧
1MPa
リーク規格
5×10
-12
Pa・m
3
(He)
PV-2000
流量レンジ
10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N
2
換算)
流量制御範囲
フルスケールの2〜100%
バルブ方式
ノーマルオープン/クローズ型
制御入力1
0〜5VDC
応答性
0.5秒以内
使用温度
0〜50℃
使用圧力
MAX.300kPa
耐圧
1MPa
リーク規格
5×10
-12
Pa・m
3
(He)
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