プレッシャーインセンシティブマスフローモジュール
Pressure Insensitive Mass Flow Module

一次側、二次側の圧力変動の影響を受けにくい、高安定な流量制御を実現したマスフローモジュール

サーマルセンサー方式 SEC-Z700 series

●新開発の制御アルゴリズム(特許出願中)により、安定した流量制御が行えます。

特長

• Multi Gas / Multi Range対応。
  ユーザーサイドでのガス種変更・フルスケール流量変更が可能。
• フルレンジ高速応答1秒以内　Variable PID搭載。
• Regulator, Transducer, Filterが不要でガスラインのコンパクト化に貢献。
• 1次圧、2次圧変動の影響なし。
• Inlet Pressure Sensor 搭載。
• Multi Display 機能搭載。
• 高精度 1%S.P.での流量精度保証。
• ウルトラクリーン　メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨標準。
• コンパクトサイズ　50SLMまで同一面間。
• 既存MFCとの信号互換を確保。
  (Analog/RS485 Digital Model , DeviceNet™ Model)
• ネットワーク機能を内蔵し、Digital信号による制御を行います。

流量制御状態

テストフロー