プレッシャーインセンシティブマスフローモジュール
Pressure Insensitive Mass Flow Module

一次側、二次側の圧力変動の影響を受けにくい、高安定な流量制御を実現したマスフローモジュール

差圧検出方式 CRITERION D200 series

●ワイドレンジな流量制御による“コンパクトガスパネル”をご提案致します。

特長

• 業界初の新方式による差圧検出方式の採用。
• ワイドレンジ化によるコンパクトガスパネルのご提案により、ガスラインを簡略化(圧力センサー・レギュレータ不要)
• 小流量から大流量まで幅広い範囲をコントロール(ワイドレンジ)。
• 3Dマッピングによる高精度化を実現
• 基準流量を半導体プロセスへ提供し、流量基準器として採用可能、歩留り向上に貢献

Wide Range Ability

ガスパネルフロー