|
|
|
|
     |
    |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
  |
 |
||
 |
Home > 製品 & サポート > プレッシャーインセンシティブマスフローモジュール |  |
|
サーマルセンサー方式と差圧検出方式2種類の、高精度・多機能プレッシャーインセンシティブマスフローコントローラをラインアップ 概要マスフローコントローラ前後に圧力変動が生じた場合でも安定した流量制御を行います。マルチチャンバーでのガスラインは、圧力変動によるマスフローコントローラのクロストーク現象が発生し易い為、ラインレギュレータ、圧力センサー、フィルターが取り付けられています。新型マスフローコントローラSEC-Z700 series、CRITERION D200 seriesは、圧力変動の影響を受けにくく、常に安定した流量制御を実現した製品です。流量出力だけでなく、温度、圧力の出力機能も装備しています。通信は、アナログ、RS-485、DeviceNet™の各種インターフェースをラインアップ。ガスラインの高性能化、コンパクト化、軽量化に最適です。 ※SEC-Z700 series・CRITERION D200 seriesどちらの機種も対応製品です。  |
|||||||||||||||||||||||
 |
||||||||||||||||||||||||
 |
|
 |
 |
Copyright © 2008 HORIBA STEC, Co.,Ltd. All rights reserved. この文書に記載されている情報は通知なく変更されることがあります。ウェブサイトで更新を確認してください。このページは次の場所からコピーされました。 |
|||
|
 |
 |
|
|
|||
