
	Home > 製品 & サポート > ミックスドインジェクション

製品画像

	MI/MV series
	仕様
	外形寸法
	気化原理
	システム構成例

ミックスドインジェクション

MI/MV series

仕様

型式	MI-1000	MV-1000
対応液種	HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く
接ガス部材質	SUS316L,PFA
設定温度	Max 140℃	Control Valve: Max 140℃　Vaporizer: Max 200℃
使用温度センサ	熱電対 K タイプ(CA)	熱電対 K タイプ(CA)
リーク規格	1×10^-8 Pa·m³/s (He) 以下
内部リーク規格	1×10^-6 Pa·m³/s (He) 以下
標準継手	液体入口:1/8VCR タイプ Male、ガス入口:1/4VCR タイプ Female、ガス出口:1/4VCR タイプ Male	液体入口:1/8VCR タイプ Male、キャリアガス入口:1/4VCR タイプFemale、ガス出口:1/2VCRタイプ Male
使用可能周囲温度	15℃ 〜 50℃	15℃ 〜 50℃
耐圧	1.0MPa (G)	1.0MPa (G)
オプション	空圧弁(内部リーク規格：1×10^-9 Pa·m³/s (He) 以下)

※発生流量については、ご使用になる“液体材料”“発生量”“発生条件”等により違いが生じます。別途お打合せの上最適なモデルをご提案いたします。
※本体内部に加温ヒータ、温度センサ、スイッチを搭載しています。仕様については別途ご確認ください。

関連製品

液体微少マスフローメータ/コントローラ
LF-F/LV-F series

世界初の冷却測定方式を採用した流量センサを搭載

Copyright © 2008 HORIBA STEC, Co.,Ltd. All rights reserved. この文書に記載されている情報は通知なく変更されることがあります。ウェブサイトで更新を確認してください。このページは次の場所からコピーされました。