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オートレフィルシステム
Liquid Auto Refill System
LU-A1000 series
液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できる新型モデル
概要
液体材料をベーキングシステム(LSC シリーズ)、インジェクションシステム(MI、MV、VCシリーズ)へ“自動的に”“安全に”“無駄無く”供給可能な液体材料のレフィルシステムです。
安全規格：SEMI S2.S8.S14.CEマーキングを全てクリアーし、オペレートミス対策として危険が伴うタンク交換時の残液除去シーケンスの自動化も標準搭載しています。またメンテナンス性の高効率化を行いスループット向上のご提案を行えるモデルです。
特長
- マザータンク交換時の安全性を確認する「蒸気圧監視による残液モニタ機能」を標準搭載 ※特許出願中
- ロードセルによるマザータンク内の残材料重量の監視が可能 ※オプション
- コンパクトサイズ、メンテナンス性の向上を図ったデザインを採用
- 脱気モジュールを標準搭載し、インジェクション方式やベーキング方式等様々な気化システムへの供給が可能
- 豊富な製作実績をベースに、コストバリューを実現した新型モデル
- 安全規格：SEMI S2/S8/S14、CEマーキング対応
- 操作性の向上：シーケンスの自動化によるミスオペレート防止機能、前面タッチパネルによる簡単な操作。
- 安全性の向上：各種モニタリングデバイスによるトータルコントロール化と異常発生時の緊急自動停止機能を装備。
- 配管デッドボリュームを極少化：集積ガスシステムを採用。
- 複数台のベーキングシステム、インジェクションシステムへ自動供給が可能。
仕様
| LU-A1000 series |
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対応液種 |
TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS |
供給方式 |
Heガスによる圧送 |
ガス供給圧力 |
圧送用 0.3〜0.6MPa（G）、パージ用 0.3〜0.6MPa（G）、OP.N2 0.6〜0.7MPa（G）
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タンク |
最大5ガロン（18.9L）容器まで搭載可能（製作範囲外）
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動作 |
供給/停止は被供給系よりの外部信号による全自動 |
操作部表示内容 |
●圧力異常表示
●アラーム時、表示ホールド機能(手動リセット)
●液レベル表示
●シーケンス等 |
ガス取合 |
基本フロー参照 |
電源 |
AC 100〜240V 50/60Hz 300VA
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電気取合 |
●AC 100〜240V ブレーカ取合 ●SIGNAL レセプタクル
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外形寸法 |
外形寸法図参照
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