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液体微少マスフローメータ/コントローラ
LF-F/LV-F series
仕様
名称 |
マスフローメータ |
型式 |
LF-F20M-A |
LF-F30M-A |
LF-F40M-A |
LF-F50M-A |
LF-F60M-A |
フルスケール流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
測定制御範囲 |
5〜100% F.S. |
対象液種 *1 |
HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く |
液体粘度 *2 |
Max. 0.1 Pa·s (100cp) |
精度 *3 |
±1% F.S. |
直線性 *3 |
±0.5% F.S. |
繰返性 *3 |
±0.5% F.S. |
応答精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
使用可能周囲温度 *4 |
5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) |
温度影響 スパン |
±0.1%F.S./℃ Max±1% |
動作差圧 *5 |
Max. 5MPa (マスフローメータ単体の場合) / 0.05〜0.3MPa (ピエゾバルブ制御の場合) |
耐圧 |
10MPa (as flow meter) |
圧力損失 *6 |
Max. 500Pa |
流量設定信号 |
アナログ：0.25〜5 VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)
デジタル：RS485(F-Netプロトコール) |
流量出力信号 |
アナログ：0〜5 VDC(最小負荷抵抗2kΩ)
デジタル：RS485(F-Netプロトコール) |
駆動電源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
外部リーク規格 |
5×10-12Pa·m3/s (He) |
接液部材質 |
SUS316L, Ni |
標準継手 |
1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ |
1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ |
1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ |
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名称 |
マスフローコントローラ |
型式 |
LV-F20
(PO/MO) |
LV-F30
(PO/MO) |
LV-F40
(PO/MO) |
LV-F50
(PO/MO) |
LV-F60
(PO/MO) |
フルスケール流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
測定制御範囲 |
5〜100% F.S. |
対象液種 *1 |
HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く |
液体粘度 *2 |
Max. 0.01 Pa·s (10cp) |
精度 *3 |
±1% F.S. |
直線性 *3 |
±0.5% F.S. |
繰返性 *3 |
±0.5% F.S. |
応答精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
使用可能周囲温度 *4 |
5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) |
温度影響 スパン |
±0.1%F.S./℃ Max±1% |
動作差圧 *5 |
0.05〜0.3MPa |
耐圧 |
1MPa |
圧力損失 *6 |
Max. 30kPa |
流量設定信号 |
アナログ：0.25〜5 VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)
デジタル：RS485(F-Netプロトコール) |
流量出力信号 |
アナログ：0〜5 VDC(最小負荷抵抗2kΩ)
デジタル：RS485(F-Netプロトコール) |
駆動電源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
外部リーク規格 |
PO : 1×10-8Pa·m3/s (He)
MO : 5×10-12Pa·m3/s (He) |
接液部材質 |
PO : SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO : SUS316L,Ni |
標準継手 |
1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ |
1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ |
1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ |
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*1： |
LF-F/LV-Fシリーズは、1種類の液体で流量校正されています(使用液体をあらかじめご指定ください。)
・固体物を含んだ液体は測定できません。
・混合液で混合比が変化する場合はあらかじめご相談ください。
・LV-Fシリーズは、対象液体に粒子等含まれる場合、0.2μm(Abs.)以下のフィルターを一次側(入口側)に取り付けてください |
*2： |
LF-Fタイプでは流量レンジにより max, 0.1Pa·sまで対応可能です。粘度の高い液体についてはあらかじめご相談ください。 |
*3： |
SEMI E56-1296 準拠 |
*4： |
計測・制御を行う液体温度が、周囲温度より低い場合はその差を10℃以内、また液体温度が高い場合は3℃以内でのご使用をお願いします。 |
*5： |
粘度0.001Pa・sにおけるF.S.流量値での値です。 |
*6： |
粘度0.001Pa・sの液体をフルスケール流量で流した時の最大圧力損失です。 |
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