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液体微少マスフローメータ/コントローラ
LF-F/LV-F series
仕様
外形寸法
計測原理
液体微少マスフローメータ/コントローラ
LF-F/LV-F series
世界初の冷却測定方式を採用した流量センサを搭載
デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現
マイクロリッターからの微小流量制御が可能
低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
ウルトラクリーン対応
関連製品
ミックスドインジェクション
MI/MV series
気液混合気化方式により液体材料の高効率気化を実現
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