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インラインガスモニター
IR-150S/L
仕様
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システム構成図
測定原理
測定データ例
ユーティリティ（設置構成例）
サンプル測定
技術資料
インラインガスモニター
IR-150S/L
仕様
形式:
IR-150
対象ガス:
TMAl, TMGa, TMIn,DEZn
校正ガス:
C
3
H
8
測定濃度:
7%/1%
測定方式:
赤外線分析法(NDIR法)
測定セル長:
5mm/50mm
再現性:
±2%FS
応答性:
40sec(T90) Typical 20sec
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