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インラインガスモニター
IR-150S/L
仕様
外形寸法図
使用環境・用途・特長
システム構成図
測定原理
測定データ例
ユーティリティ（設置構成例）
サンプル測定
技術資料
インラインガスモニター
IR-150S/L
概要
インラインガスモニタ IR-150シリーズは、NDIR法(非分散型赤外吸収法)を用いた半導体ガス濃度モニタです。
化合物半導体製造プロセスで使用される液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn などの固体や液体材料から気化させたガスの濃度をインラインで濃度測定が可能です。
特長
MOCVD用液体・固体材料ガスの濃度管理に最適
MFCなみの取扱汎用性と価格を実現しました。
In-situにてリアルタイムに濃度測定が可能です
コンパクトマウントフリーで設置スペースを選びません
抜群なコストパフォーマンスで生産ラインでの濃度管理に最適です。
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