 |
|
|
フローライン
SEF-52
詳細仕様
|
本体型式
|
SEF-52
|
|
標準流量レンジ(注1)
|
100/200 LM
|
|
流量測定範囲
|
フルスケール流量レンジの10〜100%
|
|
応答速度(90%)
|
表示値最終応答1.2 秒以内
|
|
精度
|
フルスケール流量レンジの±3%F.S 以内
|
|
繰り返えし再現性
|
フルスケール流量レンジの±1%F.S 以内
|
|
適用ガス(注2)
|
標準：N2 ,O2 ,Air ,Ar ,CO2 ,CH4 (要 指定)
|
|
接ガス部
|
ポリアセタール、ポリカーボネイト、シリコンゴム、SiO2、Si、Au、Al2O3、ポリイミド
|
|
表示部
|
液晶表示 瞬時流量3桁
積算流量4桁
|
|
データ表示周期
|
0.6 秒毎
|
|
外部出力
|
・瞬時流量 DC0〜5V / 0〜10V切換及びTTL 出力(注3)
・積算流量 TTL 出力(注3)
・アラーム
上下限各1点(動作点任意設定可)
オープンコレクター 最大定格30V 50mA
|
|
使用温度
|
5〜40°C
|
|
使用圧力(注4)
|
-0.05〜1MPa
|
|
耐圧
|
1.5MPa
|
|
リーク規格
|
0.4MPa加圧後10分間の減少圧力0.01MPa以下
|
|
取付姿勢
|
自由
|
|
標準ガス取合
|
R1/2
|
|
電源
|
AC100V ±10% 約10VA
|
|
質量
|
約850g
|
|
外形寸法
|
132W×66D×144H
|
|
注1：
|
CCM(mL/min)、LM(L/min)は、25°C・0.1MPa 時の流量校正です。0
°C・0.1MPa 時の校正(SCCM:mL/min,SLM:L/min)をご希望の場合にはあらかじめご指定下さい。
また、CCM 、SCCM 、LM 、SLMはガス流量を表す記号として使用しております。
|
|
注2：
|
校正されたガス以外のガスでは正確な流量が表示されない場合があります。但し、N2 、O2
、Airは共通で使用できます。
|
|
注3：
|
TTL 出力：TTL レベル(オープンコレクター)シリアルインターフェイス：RS-232C
準拠
|
|
注4：
|
使用圧力は、標準仕様：-0.05〜0.5MPa(G)と準標準仕様：0.5〜0.98MPa(G)が有ります。あらかじめご指定下さい。
|
|
|
