排気圧コントローラ

• 拡販プロセスの歩留り向上や腐食ガスリークの防止、大気からのコンタミネーションの低減に
• エッチャーやCVDでのチャンバ圧力制御やスピンコーターの排気量制御に最適

本製品は、外国為替及び外国貿易法上の規制された貨物です。海外に輸出される場合は、経済産業大臣の許可が必要となりますので御注意ください。